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Halbleiter-Produktionsanlagen
lithografische Ausrüstung
Ausrüstung für die Belichtung mit einer Projektionslinse zwischen der Maske und dem Wafer. Unsere Produkte werden für hochpräzise Transferstufen für Masken und Wafer verwendet.
Ausrüstung für die Waferverarbeitung
Die Revolution-Spindel wird für die Revolution-Achse von Schleif- und Poliermaschinen verwendet, die hochpräzise Waferparallelität und Spiegelglanz erfordern.
Chip-Mounting-Gerät
Geräte, die elektronische Bauteile automatisch an ihren Platz setzen. Unsere Produkte werden in Pick-up-Bereichen eingesetzt, in denen elektronische Bauteile berührungslos angesaugt und gefördert werden.
