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반도체 제조 장치
노광 장치
마스크와 웨이퍼 사이에 투영 렌즈를 넣어 노광하는 장치. 당사 제품소개는 마스크와 웨이퍼의 고정밀도 반송 스테이지에 채용해 주시고 있습니다.
웨이퍼 가공 장비
고정밀도의 웨이퍼 평행도, 경면 마무리가 요구되는 연삭 장치, 폴리싱 장치의 회전축용의 스핀들에 채용해 주시고 있습니다.
칩 마운터
자동으로 전자 부품을 제자리에 놓는 장치. 당사 제품소개는 전자부품을 비접촉으로 흡착해, 반송시키는 픽업 부위에 채용해 주시고 있습니다.
